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客户名称 时间 地点 描述
48 CETC
中国电子科技第四十八所
2007 Changsha  Gas delivery system-GC
SMIC FAB12
中芯国际十二厂
2007 WuHan Gas delivery 
system-GC/GR;VMB/VMP
SMIC FAB11
中芯国际十一厂
2007 ChengDu Gas delivery
system-GC/GR VMB/VMP,after
service
Shanghai Tianma Micro-Electronics
上海天马微电子
2006 Shanghai Gas delivery system-GC
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